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台积电供应商发生氟气泄漏!300多人撤离

台积电供应商发生氟气泄漏!300多人撤离

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    据科技新报报道,台积电供应商之一的极光先进激光股份有限公司,8月15日上午11时传出氟气钢瓶泄露事件。氟气是3级管制有毒气体,整个厂区立刻疏散,300多人撤离。


    报道称,消防局收到消息后派人员处理,确认极光先进激光公司发生总量6540克的钢瓶氟气外泄事件,由于氟气有毒,消防局立即协助厂区疏散清空,并进行止阀冷却。

 


    消防局表示,进一步处理之后,气体泄露事件已经解决。在厂内泄露的气体侦测值已降为0,并且消防人员目前确认阀体、钢瓶没有其他泄漏状况,公司员工也没有人员受困或伤亡的情况。


    至于钢瓶氟气泄露原因,需进一步调查。


    公开资料显示,极光先进提供作为半导体曝光设备用的激光,为世界上生产曝光用Excimer激光制造大厂之一,产品覆盖亚洲市场如中国、日本、韩国等大部分的半导体制造厂,在欧美市场使用率较高。

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