据ASML官网最新声明,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销,影响中国大陆部分客户!
美国去年10月17日公布的出口管制新规,对用于一些先进生产设施的某些次关键DUV浸没光刻系统施加了限制。
按照ASML的说法,2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单(至于2024年是不是可以继续,ASML之前就表示不能确定。)。
事实上,2023年ASML一直都在向中国客户供应光刻机,其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,且基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。至于先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机,ASML依然不能给中国客户出售。
据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML预计,目前撤销出口许可证或最新的美国出口管制限制不会对2023年财务前景产生重大影响。ASML还称,在最近与美国政府的讨论中, ASML进一步澄清了美国出口管制法规的范围和影响。
2023年9月1日,ASML在另一份声明中称,其已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请,荷兰政府也已颁发了截至9月1日所需的许可证,允许该公司2023年继续发运相关光刻系统。
在上述声明中,该公司表示:“在新的出口管制条例下,今年(指2023年)年底前ASML仍能履行已签订的合同,发运这些光刻设备。客户也已知悉出口管制条例所带来的限制,即自2024年1月1日起,ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。”